विधिपूर्वक पूजासंस्कारासाठी, देवतेला ब्रह्मरथ व त्याच्या आवश्यक वस्तूंनी त्वरेने आणले जाते. मंडपाच्या पश्चिम दरवाजाजवळ, सुंदर शय्येवर त्या देवतेची प्रतिष्ठापना केली जाते. शक्तीपासून सुरू करून सर्व शक्तीपर्यंतच्या देवता शुभ आसनावर बसविल्या जातात; पादपीठाच्या पश्चिम टोकास ब्रह्मशिला ठेवली जाते. शस्त्र, अस्त्रे, शतपर्णासन, निद्रापात्र आणि स्थिरासन तयार केली जातात; शिवकोनामध्ये हृदयपूर्वक अर्घ्य अर्पण करावे. नंतर लिंग उचलून, त्याचे शिर प्रथम निर्दिष्ट आसनावर ठेवावे; तेथे सृष्टीने धर्मादि संततींची स्थापना करावी. धूप अर्पण करून, पूजन करावे; मग वस्त्र व कवच अर्पण करावे. यथाशक्ती, गृहद्रव्ये व अन्न हृदयपूर्वक अर्पण करावे. तुप व मध मिसळलेली पाद्यसाठी पात्र तयार करावे; गुरु तिथे उभा राहून छत्तीस तत्त्वे एकत्र करतो. शक्तीपासून भूमीपर्यंत सर्व देवता व त्यांचे अधिष्ठानक तत्त्वे यांची त्रैविध्य फुलांची माळ तयार केली जाते व ती त्रैविध्याची स्थापना केली जाते. शक्तीतत्त्वाच्या शेवटी, मायामंडलात, आठ दिशांनी विभागलेल्या मंडलात, सृष्टीच्या क्रमाने, शिवाची 'स्व' व 'ज्ञान' स्वरूपात स्थापना केली जाते. प्रत्येक विभागात, पूर्वेपासून क्रमाने, ब्रह्मा, विष्णु, हर यांचे साकार व निराकार रूपे ठेवली जातात. पृथ्वी, अग्नी, यजमान, सूर्य, जल, वायू, चंद्र व आकाश यांच्या रूपांसह त्यांच्या अधिष्ठाता देवतांचीही स्थापना केली जाते. पशुपति, उग्र, रुद्र, भव, मखेश्वर, महादेव व भीम—हे सर्व त्यांचे मंत्र आहेत. 'ल', 'व', 'श', 'च', 'य' व 'ह' या अक्षरांचे त्रैमात्रिक उच्चार, प्रणव, हृदय, अनु किंवा मूळमंत्र वापरले जातात. पंचाग्नि योगानुसार, पाच रूपे किंवा पृथ्वी, जल, अग्नी, वायू, आकाश ही पंचमहाभूते स्थापित करावी. त्यानंतर, ब्रह्मा, धरनीधर, रुद्र, ईश व सदााख्य या पंचाधिपतींची स्थापना, मंत्रज्ञांच्या ज्ञानाप्रमाणे, सृष्टीक्रमाने करावी. मुक्तीच्या इच्छुकासाठी, निवृत्ती किंवा अजाता या तत्त्वांपासून प्रारंभ करून त्यांचे अधिपती किंवा त्रैतत्त्वात्मक कारणरूपाची स्थापना करावी. शुद्धस्वरूपात ज्ञानाधिपती, अशुद्धात लोकाधिपती, तसेच रूप, बंध, भोक्ता व मंत्राधिपती पाहावेत. पंचवीस, आठ, पाच व तीन—अशा तत्त्वांनुसार, इंद्रादी अधिपतींची योग्य क्रमाने स्थापना करावी. 'ॐ हां' म्हणत शक्तीतत्त्व, त्याच्या अधिपती, पृथ्वी, तिचा अधिपती शिव, तसेच ब्रह्मा, रुद्र यांना नमस्कार करतात. नाभीच्या मुळापासून घंटानादाचा विस्तार करावा, व ब्रह्मापासून प्रारंभ करून द्वादशांतापर्यंत पोहोचवावा. मनात विशिष्ट मंत्र, प्राप्त आनंदाच्या स्वादासारखा, द्वादशांतातून घेऊन, सर्वव्यापी, निराकार शिवामध्ये विलीन करावा. शिवाला, अठ्ठावीस किरणांनी युक्त, हजार किरणांनी तेजस्वी, सर्व शक्ती व अंगांनी परिपूर्ण, असे ध्यान करून, त्याची प्रतिष्ठापना लिंगात करावी. अशा प्रकारे प्राणप्रतिष्ठा पूर्ण होते. आता पादपीठ वगैरे प्रतिष्ठापनेची पद्धत सांगितली जाते. पादपीठ स्नान व चंदनादि लेपन करून, सुंदर वस्त्रांनी झाकावे, व योनिचिन्ह असलेल्या मुखाजवळ ठेवावे. लिंगाच्या उत्तर दिशेला, पाच रत्नांनी सुशोभित करून, पादपीठ ठेवावे; लिंगाप्रमाणे त्याची प्रतिष्ठापना करून, विधीपूर्वक पूजा करावी. स्नानादी विधीनंतर, लिंगाच्या पायाशी शिला ठेवावी; स्नानादि संस्कार करून, शक्ती व वृषभाचीही प्रतिष्ठापना करावी. प्रणव, 'हूं', 'पूं', 'ह्रीं' या अक्षरांनी किंवा त्यातील कोणत्याही एकाने, क्रियाशक्तियुक्त, शिलारूपाचा एक गुटका तयार करावा. भस्म, कुश, तिळ यांचा वापर करून तीन वेढे तयार करावेत; संरक्षणार्थ, बाहेरील दिशांमध्ये शस्त्रधारी दिक्पालांची पूजा करावी. 'ॐ हूं ह्रं, क्रियाशक्त्यै नमः; ॐ हूं ह्रां हः, हे रुद्रप्रिय महेश्वरि, स्वाहा' असे गुटक्यावर उच्चारावे; 'ॐ हां, धारकशक्त्यै नमः; ॐ हां, वृषभाय नमः' असेही म्हणावे. पाच देव्या—धारिका, ज्योत्स्ना, धात्री, विधात्री, तेजस्विनी व उग्र—त्यांची स्थापना करावी. तीन देव्या—वामा, ज्येष्ठा, क्रिया, ज्ञान, विभागशक्ती—तसेच क्रिया, ज्ञान, इच्छा या शांतरूपात स्थापित कराव्यात. पाच—अंधकार, मोह, क्षमा, पूर्णता, मृत्यू—आणि मायेपासून उत्पन्न ताप; तसेच महान मोह व तीन उग्र ताप यांचीही स्थापना करावी. तीन देव्या—क्रिया, ज्ञान, विघ्ननाशिनी—स्वरूपात, आत्मादि तत्त्वांमध्ये, तीव्र रूपात स्थापित कराव्यात. येथेही, ब्रह्मशिला वगैरेवर गुटका ठेवावा; पूर्वीप्रमाणे, गायीच्याही बांधणीसह, सर्व विधी करावेत. स्थापना झाल्यावर, अग्निकुंडाजवळ जावे; कुंडाच्या मध्यभागी महेशान, वेढ्यांमध्ये महेश्वर यांची स्थापना करावी. इतर वेढ्यांमध्ये व ध्वनिमुळाशी क्रियाशक्ती ठेवावी; वेदीवर अग्निदेवतेसह कलश ठेवावा. शक्तीचे ध्यान करावे—ती कमलाच्या तंतूसमान, जोराने वर येणारी, सूर्यमार्गे प्रवेश करणारी, बाहेर प्रवाहित होणारी आहे. पुन्हा, तिला शून्यमार्गे प्रवेश करताना ध्यान करावे; अशा प्रकारे, सर्वत्र रूपांची एकमेकांशी संलग्नता करावी. धारकशक्तीची पूजा करून, अग्निकुंडात क्रमाने अर्पण करावी; तत्त्वाधिपतींच्या रूपे व त्यांच्या अंशांचे तुपादिकांनी हवन करावे. पूजा व होम केल्यावर, एकत्रित कणांच्या उपस्थितीत, पूर्ण किंवा अर्धा होम शंभर किंवा हजार वेळा, संपूर्ण अर्पणांसह करावा. तत्त्वाधिपतींच्या रूपे व अंश, तसेच धारकशक्तींचे, समक्ष अर्पणावे; रूपधारकांनीही अर्पण करावे. नंतर, ब्राह्मण व अंगांसह, शक्तीला यथासामग्री व योग्य वेळेनुसार संतुष्ट करावे; कुशाच्या मुळाशी कलशातील पाणी शिंपडावे. लिंगाच्या पायाशी, विष्णु आदि देवतांसह, शुद्धीकरिता स्पर्श करावा; पूर्वीप्रमाणे, होमसंख्या व जपही करावेत. अशा प्रकारे, विधिपूर्वक प्रतिष्ठापना व पूजनकर्म संपन्न होते.